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Chemical vapor deposition CVD all-in-one machine

Release time: 2024-07-10 03:41:12 Number of views: 126

2349 (1)

Equipment Introduction:

A multi-channel liquid gas phase generator is a device used to convert liquid into gas phase, capable of processing multiple liquid samples simultaneously. Each channel is independently controlled and suitable for batch sample processing. Widely used in various fields such as chemical analysis, environmental monitoring, pharmaceutical industry, materials science, etc.

This device converts liquid samples into stable gas phase output by precisely controlling the evaporation process of the liquid, making it suitable for experimental and industrial applications that require high-precision gas phase supply.

Application areas:

1. Chemical analysis: an injection system used for analytical instruments such as gas chromatography (GC) and mass spectrometry (MS).

2. Environmental monitoring: used for detecting volatile organic compounds (VOCs) in air pollutants and water quality analysis.

3. Pharmaceutical industry: used for drug composition analysis, drug stability research, etc.

4. Materials Science: Used for the analysis of volatile components in materials such as polymers and coatings.

5. Food Science: Used for the analysis of food aroma and flavor components.

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设备简介:

化学气相沉积(CVD)是指化学气体或蒸汽在基质表面反应合成涂层或纳米材料的方法,是半导体工业中应用最为广泛的用来沉积薄膜材料的技术,包括大范围的绝缘材料,以及大多数金属材料和金属合金材料。为此我们研发成套的CVD镀膜系统,适用于各大高校材料实验室、科研院所、环保科学等领域

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技术参数: 

 

1.炉体与控制系统集成一体化,使试验方便快捷直观。

2.配置浮子流量计或质量流量计混气气路,可以单独设置气体流量。

3.精确PID程序多段控制,实现不同工艺多段温度时间监控。

4.炉衬采用高纯氧化铝轻质纤维材料,保温效果极佳。

5.配备机械泵或分子真空泵,可以实现不同的真空条件。

产品型号

 

NBD-T1700-80TIG3Z

工作温度

 

≤1650℃

加热区尺寸

 

310mm

恒温区尺寸 220mm

升温速率

 

≤20℃/min

电气规格

 

AC 220V  4.5KW

控制系统 

1、烧结工艺曲线设置:动态显示设置曲线,设备烧结可预存多条工艺曲线,每条工艺曲线可自由设置;
2、可预约烧结,实现无人值守烧结工艺曲线烧结;
3、实时显示烧结功率电压等信息并记录烧结数据,并可导出实现无纸记录;
4、具有实现远程操控,实时观测设备状态;
5、温度校正:主控温度和试样温度的差值,烧结全程进行非线性修正。

气体系统(可选购)

 

流量计类型

浮子流量计

质量流量计

管道示意图

 

 

进气接口数量

2、3、4(多路可选)

流量范围

20-200/60-600l/min(多量程可选)

50/100/200sccm(多量程可选)

工作压差范围

0-0.15MPa

低真空系统(可选购)

真空泵型号

NBD-1.5C

NBD-3C

NBD-4C

抽气速率

1L/s

3L/s

4L/s

进排气口尺寸

Φ8mm宝塔接头

Φ8mm宝塔接头

KF16/25

极限压力

1000Pa

100Pa

10Pa

工作温度

5-40℃

电气规格

AC220V

分子泵高真空系统

(可选购)

分子泵系统型号

NBD-103(A)

NBD-103(B)

NBD-103(C)

抽气速率

110L/s

600L/s

700L/s

真空测量计

复合真空计

极限压力

10^-3Pa

10^-4Pa

10^-5Pa

工作温度

5-40℃

电气规格

AC 220V

AC 220V

AC 380V

* 支持非标定做,更多型号,欢迎来电垂询400-000-3746

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